为了计算由于不均匀性造成的波前误差,我们必须同时考虑膜层表面偏离理想状态的运动以及反射或透射时相移的任何变化。图2.在21层四分之一堆栈中,由-1%的均匀性误差引起的波前误差。 不幸的是,在反射镜中,膜…...