亿优威光申请电场诱导带电微尺度液滴融合方法与装置专利，满足产生长间距、高频率、高稳定性的EUV液滴靶的需求(亿威新能(北京)信息科技有限公司怎么样)

国家知识产权局信息显示，深圳市亿优威光科技有限公司申请一项名为“一种电场诱导带电微尺度液滴融合方法与装置”的专利，公开号CN121550932A，申请日期为2025年11月。 专利摘要显示，本发明公开了一种电…...