EUV发展到今天，虽然推出了很多代，但严格的来讲，其实就两代。
第一代称之为普通EUV，其数值孔径为0.33，也有人称之为LOW NA EUV系统。第二借称之为High NA EUV，其数值孔径为0.55。
第一代普通EUV光刻机，价格大约在1-1.5亿美元左右，而第二代High NA EUV，价格超过4亿美元。
ASML计算的非常好，普通EUV用于7-3nm芯片的制造，然后当大家要生产2nm及以下的芯片时，就采购High NA EUV光刻机。
这样ASML赚大钱，毕竟一台光刻机4亿多美元，如果三星、台积电们多采购几台，替代掉原来的普通EUV，那就赚大发了。
而intel、三星也给面子，先后向ASML下单，采购High NA EUV，特别是intel，更是全球第一家拥有High NA EUV的厂商，英特尔想要全球第一家量产2nm（18A）芯片。
不过ASML最大的客户台积电，却迟迟没有动静，根本就没有向ASML下单采购最新的High NA EUV光刻机。
之前台积电表示称，自己的2nm，不会采用High NA EUV，用现有的光刻机就行了，并且认为1.4nm芯片，应该也可以使用原有的EUV即可，台积电能解决这个问题。
而近日，台积电又表态了，称不仅1.4nm的芯片，不会采购高达4亿美元的ASML高数值孔径（High-NA）EUV光刻机，连1nm都可能不会采购。
台积电会采用一种新的“光掩模护膜”技术，来推进其1.4nm、1nm芯片的研发与生产。
当然，台积电也没有说死，只是说在必要的时候，会采购High NA EUV光刻机，来满足自己的芯片制造。
台积电为何不买，原因就是因为太贵了啊，4亿多美元一台，如果台积电买30台，那就是120多亿美元，这个成本，台积电不是出不起，而是觉得不采购它，利用现有设备，再研发其它新技术来制造，肯定成本会比120亿美元低的多，那为何要当这个冤大头呢，让三星、intel去当吧。
对于ASML而言，这事就有点麻烦了，台积电不买，那么ASML就不能生产太多了，否则三星、inte消化不了，那么自己赚钱就没那么容易了。
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