国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“一种化学气相沉积设备”的专利，授权公告号CN223983724U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种化学气相沉积设备，包括反应腔；排出管道，一端与所述反应腔连通，另一端用于连接泵；远程等离子体源，通过第一管道与所述反应腔连通；第二管道，一端与所述第一管道连通，另一端与所述排出管道连通。本实用新型提供的化学气相沉积设备将远程等离子体源通过第一管道与反应腔连通，以及通过第二管道将远程等离子体源与排出管道连接，远程等离子体源输送的等离子体比如氟离子可以与反应腔内和排出管道内的污染颗粒物反应，最后通过泵将反应后的产物从反应腔和排出管道内抽离，以保证反应腔和排出管道内的清洁度，避免晶圆被污染，提高了对晶圆处理的可靠性。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目182次，财产线索方面有商标™️信息13条，专利信息988条，此外企业还拥有行政许可56个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
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