其流量测量段采用直管结构，显著降低了流体中气泡的影响，这在半导体工艺中曾是一个棘手的问题。此外，与以往产品相比，更高的时间分辨率和更快的信号处理速度使其在低流量下也能保持更稳定的测量性能。 测量目标水口径3…