同时，国内已建成11个MEMS中试平台，如上海嘉定“超越摩尔”平台、苏州纳米城MEMSRIGHT平台，通过工艺标准化和设备共享，将企业研发成本降低40%，培育出敏芯微、纳芯微等上市企业，为国产传感器从“规模扩…